迷你閥門減輕晶圓加工關鍵設備的污染風險

2019年08月08日

挑戰

考慮到每種類型的閥門都有自己的應用領域,選擇一款流體處理閥門在過去是很容易的。隔膜閥主要用于處理研磨液和腐蝕性流體。由于隔膜閥的表面接觸最小且被認為是最潔凈的閥門,因此在半導體工業中得到廣泛應用。然而,在評估隔膜閥潔凈度性能時,最大限度地減少被截留流體的死體積是一個重要的考慮因素。這種死體積截留可能非常嚴重,并會影響工藝效率。此外,截留和流體混合可能導致分配時出現流體失效和污染問題,因此往往需要額外的液體沖洗閥門,把失效或污染的液體沖走,從而浪費非常昂貴的化學品。

日前,半導體和生命科學市場的兩家代表性企業的工程師與我們聯系,探討一種閥門解決方案,期待通過共同開發,達到圣戈班現有閥門(3/16”)所無法達到的、使化學品截留量最低的要求。

圣戈班設計服務解決方案

圣戈班的高純度系統團隊在其產品組合中推出了一款全新的Furon? HPV迷你閥門(1/8”)。這款全新閥門尺寸的出現以一種差異化的解決方案對圣
戈班現有的閥門體系進行了補充。它將幫助客戶滿足不斷增長的工藝潔凈度和制造成品率的要求。這款全新的閥門設計旨在優化流體流通路徑,以避
免可能出現的截留區域。

下表對比了Furon? HPV迷你閥門(1/8”)與競爭對手的一個1/8”閥門,性能優勢將緩解工藝挑戰。經確認,我們的設計在不犧牲Cv 的情況下,將流道
總體積從 0.50CC 減少到 0.30CC,我們認為這是一項重要的設計成就。
流道體積得到優化,這就意味著為了使系統穩定下來所需沖洗或吹掃時間更短,從而減少設備停機時間。

客戶體驗

圣戈班的全新Furon? HPV迷你閥門(1/8”)解決方案將使客戶能夠進一步減少因污染問題導致的任何設備停機或不必要的沖洗時間。
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